Varios métodos para detectar neutrones térmicos utilizan el isótopo de litio que ocurre de forma natural, ya que tiene una sección transversal bastante alta para la captura de neutrones seguida de una descomposición en una partícula alfa y un tritón. Debido a la alta reactividad química del litio, generalmente se prefiere el uso de la sal isotópica estable LiF en lugar del Li puro. El método típico para depositar capas delgadas de LiF en sustratos adecuados, creando así los llamados convertidores de neutrones, es la evaporación al vacío. La técnica de evaporación, así como un nuevo proceso de deposición química desarrollado, se describen junto con sus beneficios y desventajas, y los resultados de las pruebas de detección de neutrones realizadas con los dos tipos de convertidores acoplados a diodos de silicio muestran un rendimiento conveniente.